N2-HP-99N5-60은 PSA 탄소 분자체 기술을 사용하는 고순도 질소 발생기로서 60Nm³/h에서 99.9995% N2를 공급합니다. 낮은 운영 비용으로 반도체 애플리케이션용으로 설계되었습니다.
| 모델 | N2-HP-99N5-60 |
| 청정 | 99.9995% |
| 유량 | 60Nm³/h |
| 압력 | 0.7MPa |
| 이슬점 | -70°C |
| 기술 | PSA 탄소 분자체 |
다단계 여과 전처리를 통해 오일 증기를 0.003mg/m3까지 제거합니다.
반도체, 질소 블랭킷팅, 불활성화, 퍼징 및 공압 이송에 적합합니다.