N2-HP-99N5-60 เป็นเครื่องกำเนิดไนโตรเจนที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยใช้เทคโนโลยีตะแกรงโมเลกุลคาร์บอน PSA โดยให้ N2 99.9995% ที่ 60 Nm³/h ออกแบบมาสำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ที่มีต้นทุนการดำเนินงานต่ำ
| แบบอย่าง | N2-HP-99N5-60 |
| ความบริสุทธิ์ | 99.9995% |
| อัตราการไหล | 60 นิวตันเมตร/ชม |
| ความดัน | 0.7 เมกะปาสคาล |
| จุดน้ำค้าง | -70°ซ |
| เทคโนโลยี | ตะแกรงโมเลกุลคาร์บอน PSA |
การกรองล่วงหน้าแบบหลายขั้นตอนจะขจัดไอน้ำมันลงเหลือ 0.003 มก./ลบ.ม.
เหมาะสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ การคลุมไนโตรเจน การเฉื่อย การไล่ล้าง และการลำเลียงแบบนิวแมติก